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1.壓縮空氣泵要定期排水，每月排水1次；遇梅雨季節(jié)至少一星期排水1次，如果長(zhǎng)期不排水會(huì)導(dǎo)致壓縮空氣泵損壞。

2.定期查看機(jī)械泵油標(biāo)（約3-6個(gè)月時(shí)間檢查一次），泵油是否不夠或油質(zhì)變黃變黑，及時(shí)加注或更換泵油以免造成泵性能下降或損壞。分子泵的油標(biāo)也要定期檢查油變少變黑要及時(shí)更換（約1年時(shí)間檢查一次）。

3.定期清理腔室內(nèi)的殘留物（根據(jù)設(shè)備使用頻率至少1-3個(gè)月要清理一次），保證腔室內(nèi)干凈，無(wú)材料殘留物，無(wú)粉塵，無(wú)水，無(wú)油污；可在腔室內(nèi)屏蔽板上貼上鋁箔紙便于清理。

4.設(shè)備冷卻水管在使用2年后，要檢查塑料水管的老化程度，一般不宜超過5年，達(dá)到5年需要更換所有塑料水管；設(shè)備長(zhǎng)期不使用時(shí)排空塑料水管里的水，避免低溫凍裂水管。

5.循環(huán)冷卻水溫度不宜調(diào)節(jié)過低，和室溫不能相差0℃以上，保證水管外壁無(wú)冷凝水（冷凝水滴下來會(huì)損傷膜厚儀探頭及其他電源），一般設(shè)置20-25℃，定期檢查冷卻水，少了要添加，水質(zhì)變黑，變黑要全部更換，建議使用去里子水

6.水冷基片臺(tái)的油封根據(jù)使用頻率的不同，2-3年左右會(huì)有老化情況，有旋轉(zhuǎn)卡頓或漏水風(fēng)險(xiǎn)，建議定期檢查更換。