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主要特點:
★濺射鍍膜室配有帶擋板的觀察窗，可以很方便的觀察設備內部的工作狀態。
★基片架可以在濺射室實現往復運動；往復位置和運動速度可以設定。
★自動傳遞方式，調頻電機控制，同步運行。室內均有定位功能，可實現原點復位。
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