密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />

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連續進樣蒸發蒸鍍設備
產品摘要
該系列配置電動取樣桿,實現多片連續蒸鍍。運用于高校科研院所實驗室制備金屬薄膜、氧化物、光學薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等領域。
產品介紹

★系統組成:電動取樣桿+進樣腔+工藝腔

★基片尺寸:300mm x 300mm 

★蒸鍍方式:樣品臺旋轉式

★進樣腔:可放4片樣品

★工藝腔:配置4個40cc 點源,滿足BCP,C60,LiF,金屬蒸鍍

★膜厚均勻性:

真空:(9E-05)Pa小于24小時之內


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