密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過(guò)程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態(tài)下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質(zhì)量的空氣所輸" />
設(shè)備特點(diǎn):
★反應(yīng)內(nèi)腔和外腔配置獨(dú)立高性能MKS真空計(jì),可實(shí)時(shí)觀察ALD工藝過(guò)程中壓強(qiáng)變化和內(nèi)外壓強(qiáng)差
★自動(dòng)控制軟件,操作簡(jiǎn)單;具有CDA報(bào)警以及防溫度失控硬件保護(hù)功能,保障ALD工藝安全性
設(shè)備參數(shù):
★樣品臺(tái):8英寸樣品臺(tái)雙腔室反應(yīng)腔,兼容210×210 mm方形樣品,樣品臺(tái)空間高度100mm,可適用多片堆疊工藝
★加熱均勻性:真空內(nèi)輻射加熱,樣品溫度可加熱到400℃,反應(yīng)區(qū)域空間溫度在200℃時(shí)均勻性≤±2℃,溫度控制精度±0.5℃
★前驅(qū)體源:配置6路前驅(qū)體源:其中4路加熱金屬源、1路水前驅(qū)體源和1路臭氧前驅(qū)體源
★沉積非均勻性:8英寸內(nèi)沉積50nm氧化鋁非均勻性≤±1%